第二百二十四章 无人自动公交车的强大理解
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报废。 不仅是地基的稳定性,光刻机生产的厂房所有灯光都有指定要求,不能使用我们平常使用的白光,而是需要使用波长较长的黄色光源。 因为光刻胶对短光非常敏感,所以用长波长的黄色光源的话,对于晶圆制造来说就如同关灯作业,原理就如同冲胶卷曝光一样。 除去这些,光刻机生产厂房还对空气质量有特别高的要求,空气质量需要达到ISO1级或者2级的水准,这样的空气质量比医用手术室的空气环境要求要干净一万倍…… 要达到这样的要求,就必须大量使用先进的全自动化机械操作和高效的风机过滤机组进行24小时无间断的换气和过滤。 除去这些苛刻要求,更让胡来感叹的,还有光刻机高达三万多个零部件和制造光源所需要的强大电力消耗…… 不过。 好在沪市微电子厂虽然只是光刻机厂商,但对于光刻机的整套配套还是准备充足。 虽然诸如工厂的风机过滤机组(FFU)和过滤滤芯暂时无法国产,诸如国产光刻胶效果不尽人意等等,但在微电子的私下帮助下,凤凰28纳米光刻机的组装和相关配套还是有条不紊的完成了。 用沪市微电子负责项目的经理话说,第一批配套的设备和材料,微电子厂能想办法暗地里帮忙,但真正等凤凰半导体投入生产后,后续诸如过滤滤芯的更换升级、光刻胶材料的来源就是凤凰自己内部的事情了。 胡来已经非常满意了。 光刻胶再难、风机过滤机组、滤芯再难能难得过光刻机?只要解决了光刻机这个最难的问题,那其他配套都是时间问题! 很快。 由沪市微